语言选择:中文 | English

当前位置: 首页 > 材料处理 > UP-120 不锈钢腔体式微波等离子体材料处理装置

UP-120 不锈钢腔体式微波等离子体材料处理装置

2017-03-24 作者: admin

应用:

材料表面改性

医疗器材表面灭菌消毒

表面清洗,如PCB、FPC、电子元件等

clbmcl.png

产品特性:

本品采用直接微波等离子体(Remote Microwave Plasma),等离子体产生效率高,样品处理均匀;

由微波系统、等离子体发生室、样品处理室、气路系统、真空系统和循环水冷却系统组成;

样品处理室ф262(内径)×165(高),容积35.58L。左、右侧及前门上各有一个(共3个)ф50观察窗,样品装卸门146(宽)×68(高),内有ф120(直径)水平样品台,样品台面离样品处理室底面高度两级可调节27-57-87。 样品台升降架精巧豪华,方便调谐和样品取放。                                                    

等离子体发生室ф144(内径)×96(高)处于样品处理室之上。

2~4路气体输入由反应室内顶部(样品台上方)呈环形均流输入。可用氮气、氧气、氦气和大气等常用气体。流量控制可用玻璃转子流量计或者MFC;

可长时间连续工作,配循环水冷系统,环保经济;

常规采用机械真空泵,可选配扩散泵与涡轮分子泵;

文章来自http://www.uniplasma.com/167.html ;转载请注明出处!