等离子体几种常见的材料处理装置

1、微波等离子体材料处理装置（1KW/1.5KW，2.45GHz）

应用：

材料表面改性

医疗器材表面灭菌消毒

表面清洗，如PCB、FPC、电子元件等

产品特性：

本品采用直接微波等离子体（Direct Microwave Plasma），等离子体产生效率高，样品处理均匀；

等离子体发生室ф144（内径）×96（高）处于样品处理室之上。

2～4路气体输入由反应室内顶部（样品台上方）呈环形均流输入。可用氮气、氧气、氦气和大气等常用气体。流量控制可用玻璃转子流量计或者MFC；

可长时间连续工作，配循环水冷系统，环保经济；

常规采用机械真空泵，可选配扩散泵与涡轮分子泵；

2、远程微波等离子体材料处理装置（1KW/1.5KW，2.45GHz）

应用：

高聚物材料表面清洗与改性

产品特性：

本品采用远程微波等离子体（Remote Microwave Plasma），等离子体产生效率高，样品处理均匀；

真空系统采用2XZ-2型旋片真空泵，极限真空6×10－2帕；

2～4路气体输入，1路或2路进入微波等离子体源处形成远程等离子体进入反应室，另外的气路由反应室内顶部（样品台上方）呈环形均流输入；可用氮气、氧气、氦气和大气等常用气体；流量控制可用玻璃转子流量计或者MFC；

3、桌面微波等离子体材料处理装置（1KW/1.5KW，2.45GHz）

应用：

高聚物材料表面改性

医疗器材表面灭菌消毒

表面清洗，如PCB、FPC、电子元件等

半导体表面去胶

产品特性：

本产品采用特殊设计，结构简单，成本低廉，可放置于桌面使用，适合于教学科研；

真空室外侧有镂空的保护罩，即可以观察石英罩内的情况，也可以有效的保护操作者以免烫伤。

2路工作气体，工作气体可用氮气、氧气、氦气、大气等常用气体。

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