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等离子体几种常见的材料处理装置

2017-05-10 作者: admin

等离子体几种常见的材料处理装置

1、微波等离子体材料处理装置(1KW/1.5KW,2.45GHz)

应用:

材料表面改性

医疗器材表面灭菌消毒

表面清洗,如PCB、FPC、电子元件等

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产品特性:

本品采用直接微波等离子体(Direct Microwave Plasma),等离子体产生效率高,样品处理均匀;

等离子体发生室ф144(内径)×96(高)处于样品处理室之上。

2~4路气体输入由反应室内顶部(样品台上方)呈环形均流输入。可用氮气、氧气、氦气和大气等常用气体。流量控制可用玻璃转子流量计或者MFC;

可长时间连续工作,配循环水冷系统,环保经济;

常规采用机械真空泵,可选配扩散泵与涡轮分子泵;

2、远程微波等离子体材料处理装置(1KW/1.5KW,2.45GHz)

应用:

高聚物材料表面清洗与改性

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产品特性:

本品采用远程微波等离子体(Remote Microwave Plasma),等离子体产生效率高,样品处理均匀;

真空系统采用2XZ-2型旋片真空泵,极限真空6×10-2帕;

2~4路气体输入,1路或2路进入微波等离子体源处形成远程等离子体进入反应室,另外的气路由反应室内顶部(样品台上方)呈环形均流输入;可用氮气、氧气、氦气和大气等常用气体;流量控制可用玻璃转子流量计或者MFC;

 

3、桌面微波等离子体材料处理装置(1KW/1.5KW,2.45GHz)

应用:

高聚物材料表面改性

医疗器材表面灭菌消毒

表面清洗,如PCB、FPC、电子元件等

半导体表面去胶

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产品特性:

本产品采用特殊设计,结构简单,成本低廉,可放置于桌面使用,适合于教学科研;

真空室外侧有镂空的保护罩,即可以观察石英罩内的情况,也可以有效的保护操作者以免烫伤。

2路工作气体,工作气体可用氮气、氧气、氦气、大气等常用气体。

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