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微波等离子体CVD法制备金刚石膜的研究
微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)是一种新的薄膜制备方法,本文在自行研制的水冷反应室式MWPCVD装置中用这种方法进行制备金刚石膜的工艺研究。 首先详细解释了水冷反应室式MWPCVD装置的工作原理、结构和……
什么是等离子体
宏观物质在一定压强下随温度升高,由固态变为液态,再变为气态,有的直接从固态变为气态。那么对于气态物质再继续升高温度,将会有什么变化呢? 我们知道,温度越高,表明物……
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