微波等离子体CVD法制备金刚石膜的研究

　　微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)是一种新的薄膜制备方法，本文在自行研制的水冷反应室式MWPCVD装置中用这种方法进行制备金刚石膜的工艺研究。 　　首先详细解释了水冷反应室式MWPCVD装置的工作原理、结构和……

什么是等离子体

     宏观物质在一定压强下随温度升高，由固态变为液态，再变为气态，有的直接从固态变为气态。那么对于气态物质再继续升高温度，将会有什么变化呢？　　  　　我们知道，温度越高，表明物……