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• 发布时间：2021-05-12 16:02
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【概要描述】邬钦崇老师在中科院等离子体所承担国家863项目，进行了长达十多年的微波等离子体设备研究，先后开发成功国内第一台石英钟罩式和金属圆柱腔式的MPCVD设备。