金刚石设备测温系统

金刚石的生长需要特定的温度范围，温度过高或过低金刚石相就会变石墨相或其他相，金刚石籽晶就相当于生长金刚石的一颗种子，多个金刚石籽晶平铺在基片台上，微波在金刚石籽晶上激发出等离子体，等离子体为金刚石籽晶生长提供上述特定的温度范围，但不同位置范围内的金刚石籽晶温度是有差异的，即每个金刚石籽晶表面的温度也不是相同的，所以需要对金刚石籽晶表面进行温度测量。

智能自动测温系统获取红外摄像头拍摄金刚石籽晶晶体的红外光图片，根据处理后的红外光图片确定各个金刚石籽晶的位置，并得到红外摄像头测得目标金刚石籽晶的温度；智能自动测温系统读取金刚石籽晶生长的相关工艺参数、红外摄像头测得目标金刚石籽晶的温度以及红外摄像头对准的红外光图片中目标金刚石籽晶对应点的RGB值，根据参数曲线方程计算除开目标金刚石籽晶外每片金刚石籽晶中心区域的金刚石籽晶温度；智能自动测温系统将除开目标金刚石籽晶外计算得到的每片金刚石籽晶中心区域的温度与系统设置的临界值进行对比，当出现金刚石籽晶温度超过高温临界值或者低于低温临界值时，发送告警提醒给用户终端；智能自动测温系统将一定周期内的数据保存到数据库，并统计分析一定周期内的数据后生成金刚石籽晶信息统计图。本发明对多个金刚石籽晶进行温度测量，实现了高 效率测温，并根据测量的温度及时掌握每个金刚石籽晶的温度情况，有利于高品质金刚石的生长。