金刚石设备的双腔体系统

在利用化学气相沉积方法进行金刚石生长的过程中，需要先将谐振腔体抽真空，然后通入反应气体，在由微波产生的电磁场作用下，腔体内的电子相互碰撞并产生剧烈的振荡，促进了谐振腔内其它的原子、基团及分子之间的相互碰撞，使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团，这些基团不断地在籽晶表面发生吸附、脱附、迁移、扩散和沉积，形成金刚石。在实际生产过程中，当金刚石生长至一段时间后，由于内部质点的热振动及应力作用等，在金刚石内部或者表面会产生晶格缺陷，主要是点缺陷。为了生长出高品质的金刚石，此时就需要打开谐振腔舱门，拿出金刚石并将金刚石的这些晶格缺陷去除，然后将去除晶格缺陷的金刚石放回谐振腔中，谐振腔抽真空后继续生长，为生长高品质的金刚石，需要重复多次上述的操作。而每一次操作均需要将谐振腔舱门打开和关闭才可以完成，而每一次打开和关闭谐振腔舱门均意味着谐振腔中引入空气中的水汽等杂质气体，对于生长高品质的金刚石产生不利影响。

金刚石设备的双腔体系统包括第 一腔体、第二腔体、真空插板阀和物料运输机构，真空插板阀固定连接第二腔体的一端和第 一腔体，物料运输机构连接第二腔体的另一端，物料运输机构可以在第 一腔体和第二腔体中伸缩移动。利用真空插板阀固定连接第二腔体的一端和第 一腔体，物料运输机构连接第二腔体的另一端，物料运输机构可以在第 一腔体和第二腔体中伸缩移动。这样克服了多次打开和关闭谐振腔舱门进行去除晶格缺陷操作时促使谐振腔中引入空气中水汽等杂质气体的技术缺陷，实现高品质金刚石的生长。